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專注立臥圓臺磨床35年

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半導體光學專用立軸圓臺磨床銑磨機的磨削特點

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半(ban)導(dao)體(ti)(ti)光(guang)學(xue)元件(jian)對平面(mian)度(du)與(yu)平行度(du)要(yao)求嚴苛,傳(chuan)統磨床在(zai)長期加(jia)工中易(yi)(yi)出(chu)現(xian)精度(du)漂(piao)移(yi),導(dao)致元件(jian)透光(guang)率下降和波前畸(ji)變。如何維(wei)持(chi)亞微米級穩定性成(cheng)為(wei)行業核心痛點。硅、碳化硅等(deng)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)材料在(zai)磨削中易(yi)(yi)產(chan)生局部高溫,引發微裂紋(wen)與(yu)晶(jing)格損傷,直接(jie)影響晶(jing)圓器件(jian)的(de)電學(xue)性能。從軟質紅外(wai)硫(liu)系(xi)玻璃到(dao)超硬藍寶石(shi)襯(chen)底,半(ban)導(dao)體(ti)(ti)光(guang)學(xue)元件(jian)材料跨度(du)極大,單一設備難以兼(jian)顧加(jia)工效率與(yu)表面(mian)質量。

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