半(ban)導(dao)體(ti)(ti)光(guang)學(xue)元件(jian)對平面(mian)度(du)與(yu)平行度(du)要(yao)求嚴苛,傳(chuan)統磨床在(zai)長期加(jia)工中易(yi)(yi)出(chu)現(xian)精度(du)漂(piao)移(yi),導(dao)致元件(jian)透光(guang)率下降和波前畸(ji)變。如何維(wei)持(chi)亞微米級穩定性成(cheng)為(wei)行業核心痛點。硅、碳化硅等(deng)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)材料在(zai)磨削中易(yi)(yi)產(chan)生局部高溫,引發微裂紋(wen)與(yu)晶(jing)格損傷,直接(jie)影響晶(jing)圓器件(jian)的(de)電學(xue)性能。從軟質紅外(wai)硫(liu)系(xi)玻璃到(dao)超硬藍寶石(shi)襯(chen)底,半(ban)導(dao)體(ti)(ti)光(guang)學(xue)元件(jian)材料跨度(du)極大,單一設備難以兼(jian)顧加(jia)工效率與(yu)表面(mian)質量。

依托20年(nian)(nian)精密機床制造經(jing)驗,我們山東臨磨(mo)構建了全(quan)流程品控體系:從鑄件應力消除到閉環溫控裝配(pei)(pei)車間,確保設備(bei)長期運行精度。提供核心部(bu)件5年(nian)(nian)質保,并(bing)配(pei)(pei)備(bei)本地化服務團隊,48小時內響應全(quan)國(guo)客戶需求。
山(shan)東臨磨(mo)(mo)作(zuo)為(wei)專注半導體設(she)備研發的生(sheng)產廠家,我們立軸(zhou)圓臺磨(mo)(mo)床銑磨(mo)(mo)機采(cai)用(yong)高剛性結構設(she)計與進(jin)口(kou)精密(mi)主軸(zhou),實現(xian)平面(mian)度≤0.001mm/100mm2的穩定加(jia)工。納米級進(jin)給系統結合自(zi)適應磨(mo)(mo)削算法,可高效處理石(shi)英(ying)玻璃、碳化硅(gui)等(deng)光學(xue)材料,表(biao)面(mian)粗糙度達Ra0.01μm,滿足晶圓載具、光掩膜版等(deng)元件的超精密(mi)需求。